時間：10月24日下午2：00
地點：7D-101
報告人：陳本永 教授
報告題目：激光干涉納米位移測量技術
內容簡介：大范圍高精度的納米位移測量技術及儀器屬精密測量科學研究的重點內容。目前，隨著超精密加工、微電子制造等高新技術的迅速發展，對納米位移測量技術及儀器提出了既要測量范圍大又要同時達到納米級測量精度的要求，例如，超精密加工技術領域中超精密加工的定位精度不斷提高而運動范圍不斷增加，微電子技術領域中超大規模集成電路芯片線寬不斷縮小而硅晶片尺寸不斷擴大，以及各種掃描探針顯微鏡、三坐標測量機、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開大范圍高精度的納米位移測量儀器的校準或標定。報告介紹了激光合成波長納米位移測量原理與方法、基于法拉第效應的激光偏振干涉多自由度測量原理和方法，分析了激光干涉納米位移測量的科學問題、關鍵技術和發展趨勢。
陳本永簡介：男，1965.12生，博士，教授，博士生導師，“長江學者”特聘教授，浙江理工大學機械與自動控制學院副院長；浙江大學機械工程專業博士，清華大學光學工程專業博士后；教育部“微/納驅動、測量及其應用”創新團隊帶頭人，“新世紀百千萬人才工程”國家級入選者，享受國務院政府特殊津貼，浙江省有突出貢獻中青年專家，浙江省“151人才工程”重點資助培養人員，浙江省高等學校優秀青年教師資助計劃資助對象，校教學名師；中國儀器儀表學會理事，中國儀器儀表學會測量與控制專業委員會副主任委員，中國測試計量學會幾何量測量專業委員會、計量儀器專業委員會等委員。主持國家自然科學基金項目5項（科學儀器專項1項、重大研究計劃培育項目1項，面上項目3項），參加973計劃項目1項和863計劃項目2項；發表學術論文70余篇，被SCI收錄30多篇、EI收錄40多篇；授權發明專利10項；以第一完成人獲國家技術發明二等獎和浙江省科學技術一等獎各1項，以第二完成人獲浙江省科學技術二等獎1項。主要研究方向為納米測量技術及儀器，微驅動器與微執行器技術，精密測量與控制技術。
